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高效過濾器
凈化設備
電子行業生產過程中空氣過濾器的應用
   電腦中每天鉆進無數灰塵，只可惜電腦沒有裝中效過濾器，如果以后電腦中也裝上過濾除塵器就好了。粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響壽力空壓機配件產品的成品率。當今，半導體工業（芯片廠）對生產環境空氣潔凈程度高挑剔，對空氣過濾器的要求也最苛刻。衡量芯片集成度的指標之一是“線寬”，即電路上導線的寬度。在以微米計算線寬的年代，人們說制造環境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的 1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm，此時任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統比較已經過時了。
　　芯片廠傳統的通風形式是“大循環”，車間的整個天花板上布滿高效過濾器，整個地面為回風柵板。現在芯片廠有些車間使用自帶風機的過濾裝置， 即FFU風機過濾器機組。大循環和FFU風機過濾器機組兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。　
    不論是普通高效過濾器還是FFU風機過濾器機組，出廠前都要經過逐臺掃描、測試。國內目前沒有掃描測試方法標準，能擠進芯片廠的過濾器廠家是按歐美標準對過濾器進行掃描測試的。芯片廠的人認為，過濾器傳統檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。　　
    空氣中的海鹽粒子是所有電子工業的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大， 普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業的理想地點應該遠離海岸，可沿海地區經濟發達，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區，在過濾器上多花點錢就是了。
　　20世紀90年代初，國外曾對高效過濾器玻纖濾紙的含硼問題爭吵了一陣，隨后，過濾器的微量揮發元素成了芯片廠關注的事情。近幾年，國外出現了聚四氟乙烯纖維高效過濾材料，這種材料沒有揮發物，但它是帶靜電的“駐極體”，少了個隱患，多了個麻煩，過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離子。目前這種材料的價格偏高，大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過濾器上可能的微量揮發元素主要來源于粘結劑和清洗劑，為芯片廠供貨的過濾器廠商要在這上面下些功夫
加入日期：2018-11-28 瀏覽量：453
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