無塵室(潔凈室)測試驗收,首先要確認無塵室各項工程已完成并運轉至少24小時以上,方能進行如下各項測試。各測試項目,其也有一定的先后順序。
無塵室(潔凈室)測試驗收,首先要確認無塵室各項工程已完成并運轉至少24小時以上,方能進行如下各項測試。各測試項目,其也有一定的先后順序。
首先要測定HEPA/ULPA風速,
HEPA/ULPA的風速是測定其泄漏的前提,濾網沒有風速或者風速很小都能直接影響hepa掃漏的準確性,同時也影響環境內粒子的過濾效果。從事潔凈室工程設計施工多年經驗的工程師應該都知道,竣工驗收時,一般新裝HEPA風速要達到0.40-0.45m/s以上,同時回風風速一般要在2.0m/s左右,無塵室內的過濾效果才明顯,如此風速,一些1.0以上大顆粒會被氣流通過回風帶走。風速小于0.35的會造成大顆粒在室內一直循環而不被回風帶走,這樣的話做環境粒子測試將無法通過,待室內運行一段時間后,無塵室正常生產運轉的時候將風速范圍將調至在0.25-0.45之間亦可保證室內的潔凈度。
HEPA/ULPA的掃漏,一般包括倆個部分,一是HEPA/ULPA的表面掃漏,另外就是其安裝的周邊密封性掃漏,HEPA/ULPA的表面在廠家出廠前也進行過測試,但是不能確定工人在安裝過程中會造成損壞,所以表面掃漏也是必須的,周邊密封性的掃漏是檢驗安裝是否到位,氣密是否嚴實,在一般的掃漏過程中,周邊密封性掃漏是必要的工作,也是掃漏的重點。
HEPA/ULPA風速測試中,為避免邊緣受到渦流的影響,一般可以采取四周PVC圍護的方式,以利測量結果的準確性